產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測(cè)量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測(cè)量,時(shí)域測(cè)量等
詳情介紹:
Agilent BA1500半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)
主要技術(shù)指標(biāo)
探針臺(tái):
1.探針臺(tái)主機(jī):卡盤XY運(yùn)動(dòng)范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動(dòng)范圍25mm
2.絲桿軸承確保高精度移動(dòng),分辨率3.5um
3.針座:精度0.7um
4.加熱臺(tái): 溫度范圍室溫-400℃
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀
1.直流I-V測(cè)試:
具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同時(shí)測(cè)量zui小電壓分辨率0.5μV、zui小電流分辨率0.1fA
2.C-V測(cè)試:頻率1KHz-5MHz;偏置電壓:±25V;測(cè)量精度±0.2 %3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測(cè)量間自動(dòng)切換,不會(huì)影響測(cè)量精度
4.脈沖IV:
提供兩路快速IV/脈沖輸出,具有任意波形產(chǎn)生功能
zui小脈沖寬度:50ns;脈沖電平范圍:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載);電壓測(cè)量精度:±0.1%讀值, ±0.1% 量程;電流測(cè)量精度:±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程
主要用途
支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測(cè)量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測(cè)量,時(shí)域測(cè)量等。